精密機械分野における高減衰構造体の開発
半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置などの超精密機械では、装置内部の駆動モータや外部の振動源などに起因する様々な振動が、構造体を含めた装置全体に発生し、精度やスループットなどの装置性能に悪影響をおよぼすことがあります。
横河ブリッジでは、こうした振動問題を解決する方策として、構造体の減衰性能を高めた高減衰構造体を開発しました。横河ブリッジの高減衰構造体を用いることにより、装置の高精度化・高スループット化・高速化が実現できると考えています。
今後も継続して技術開発を行い、更なる高性能化や新たな技術の開発に努めます。